Femto Sistema Proceso Plasma

Equipos Femto de sobremesa o de suelo de configuración modular con volumen máximo de 6 litros, adecuados para todo tipo de procesos de tratamiento de superficies por plasma: limpieza, activación, recubrimiento y ataque químico o etching en ambientes de laboratorio o de producción a pequeña escala. Contacte con nosotros para conocer la configuración que mejor se adapta a sus necesidades

 

CARACTERISTICAS PRINCIPALES

 

   
  • Volumen máximo de 6 litros

  • Hasta tres entradas de gas

  • Adaptados a la producción industrial de alto rendimiento

  • Sistema modular de múltiples opciones de configuración

  • Control manual o automático  

 
CONFIGURACIONES DISPONIBLES
 
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ESPECIFICACIONES TÉCNICAS    APLICACIONES
     

Unidad básica

Los tamaños de la unidad pueden variar dependiendo de los componentes y opciones

Volumen de la cámara: 1.9 – 6 litros dependiendo de la configuración

 

Entrada de gases

Una, dos o tres entradas

Válvula de aguja

Controlador de flujo másico

 

Cámara de vacío 

  • Cámara de aluminio, redonda con tapa o puerta. Dimensiones: Ø 100 mm, longitud 280  mm ó 600 mm

  • Cámara de acero inoxidable:

    • Redonda con tapa. Dimensiones: Ø 100 mm, longitud 278  mm ó 600 mm

    • Rectangular con puerta. Dimensiones: ancho 103 x alto 103 x profundo 285 mm

  • Cámara de cristal de cuarzo (UHP) con tapa o puerta. Dimensiones: Ø 95 mm, Longitud 280 mm ó 600 mm

  • Cámara redonda de borosilicato (UHP) con tapa o puerta. Dimensiones: Ø 95 mm, Longitud 280 mm ó 600 mm

 

Medición de presión de la cámara 

  • Medidor de presión Pirani

  • Medidor de presión Baratron

 

Carga de muestras 

  • Bandeja disponible en diferentes materiales: aluminio, acero inoxidable, borosilicato o cuarzo

  • Balsa de cuarzo, tambor rotatorio para polvo, tambor rotatorio para materiales en grandes cantidades.

  • Opcional: sistema de refrigeración para la bandeja

 

Electrodo 

  • Electrodo estándar de acero inoxidable y aluminio. En uno o en varios niveles

  • Electrodo RIE

 

Generadores 

  • 40 kHz: Potencia 0 - 200 W; 0 - 1000 W

  • 13.56 MHz: Potencia 0 - 50 W; 0 - 100 W; 0 - 300 W

  • 2.45 GHz: Potencia 0 - 300 W

 

Control de la unidad básica

  • Manual

  • Control computerizado

  • Control total por PC

 
  • Producción por lotes pequeños

  • Análisis (SEM, TEM)

  • Tecnología médica

  • Investigación y desarrollo

  • Arqueología

  • Industria textil

  • Industria de plásticos

  • Automoción
  • Semiconductores
  • Esterilización...
 



Aname Instrumentacion Cientifica

ANAME, Instrumentación Científica es el principal suministrador de equipos de proceso por plasma en España y Portugal, desde económicos limpiadores por plasma y plasma etchers de sobremesa hasta equipos industriales de gran tamaño diseñados para producción industrial. Somos verdaderos entusiastas de la tecnología del plasma y ofrecemos la mayor variedad de procesos por plasma soportada con la mejor tecnología y el mejor equipo científico con años de formación en la materia. Si necesita consejo o ayuda en cualquier aspecto respecto a la modificación de superficies por plasma, en cualquier otra aplicación, podemos ayudarle. Muchas gracias por visitar nuestra web.

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